二手日立場發(fā)射電鏡：日立新推出的高分辨場發(fā)射掃描電鏡，1kv的分辨率提升到1.3nm，并在探測器設(shè)計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測；結(jié)合選配的STEM探測器，還可以實現(xiàn)明場像和暗場像的觀測；此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號的采集，對樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。

掃描電子顯微鏡儀器特點(diǎn)：

1. 新型物鏡采用的ExB設(shè)計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
2. 1KV低加速電壓,不使用減速功能,可保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺可選：I型50mm x 50mm標(biāo)準(zhǔn)樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
4. 包括磁懸浮渦輪分子泵在內(nèi)的*進(jìn)的真空系統(tǒng)。
5. 光闌自清潔技術(shù),避免了光闌的污染。

二手日立場發(fā)射電鏡：儀器參數(shù):

二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV，減速模式)
1.0nm (15kV)
電子光學(xué)：
電子槍: 冷場發(fā)射電子源
加速電壓: 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光闌: 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測器(可選)
樣品臺: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅(qū)動:手動(可選3軸驅(qū)動)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅(qū)動:PC機(jī)控制5軸驅(qū)動
圖像顯示:
操作/顯示: PC/AT 兼容,
操作系統(tǒng)： WindowsTM 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式: 標(biāo)準(zhǔn)，Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840